扩散泵：
(1)扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。
(2)使用要求：泵在使用前，应先用自来水冲刷，除去浮尘，后用洗液罐入充分洗涤，再用清水及蒸馏水洗净吹干，最后罐入规定容量的572。电热功能应大致符合规定，并应用变压器调节电压，慢慢调至恰当的位置，从200至220之间便适应工作要求。
1894 四级油扩散泵（GG－17玻璃）：
玻璃油扩散泵由于在使用过程中易于清洗，检漏和密封，并能直接观察泵内油的蒸发状态，故被广泛采用作为高真空抽气设备。其数据如下：
抽速 极限压强 加热功率 加油量 泵体高 泵直径 进气口径 出气口径
升/秒 モ W ml mm mm mm mm
----------------------------------------------------------------------
130 1×10¯8 800 120 约530 120 35 15
1895 三级油扩散泵（GG－17玻璃）：
本扩散泵使用原理性能与1894四级扩散泵相似，只是体积及抽速略小，价格便宜，适用于要求较低真空系统用。其技术数据如下：
抽速(升/秒) 极限真空(モ) 用油量ml 泵直径mm 全高mm
------------------------------------------------------------------
60～80 5×10¯7 150 100 530
GG—17玻璃三级、四级高真空油扩散泵 使用时特别提醒操作人员
使用时注意事项
1． 在加油时用漏斗从排气管内输入，推荐使用的油请用四川产晨光牌275＃扩散泵硅油。
2. 泵的加热电炉可采用4英寸左右炉盘与泵底部最佳距离为5m/m-10m/m左右。
3. 泵在使用时,切勿断水，如突然断水应即关电炉，冷却水进出口必须扎紧防止水压高时冲击脱皮管，按排就绪后，应先开启机械泵等系统中真空度达到10—2Pa时，方可开启电炉加热。同时打开冷却水。
4. 使用结束后先应切断热源，等泵冷却后方可停止机械泵工作。以防“工作液”氧化。
5. 如果发现“工作液”(硅油)颜色变(深黄到黑)说明硅油已变质需更换。
6. 加热电炉不要大于扩散泵底部10m/m，如太大应用石锦板封去多余部分。电炉装置可以调温，加热到硅油沸腾时，将温度调到恒温，保持硅油正好连续沸腾。第二次使用时，电炉升温一定要缓慢， 急加温会导致玻璃产生强应力，缩短扩散泵的使用寿命。玻璃扩散泵最适应是：24小时连续工作，但大多数单位不是三班制，只好每天开关。应每电炉加热一次，玻璃就产生一次应力，次数多了，应力就严重了，久而久之，扩散泵就自然而然的破裂报废了。
7．GG-17耐热急变240℃—250℃(以250ml烧杯样品)是指在无应力情况下测试的，待扩散泵底部应力的增加，耐热急变温度随之下降，使用寿命因此而缩短。